[实用新型]单晶硅生长炉籽晶绳固定装置有效
| 申请号： | 201720586167.X | 申请日： | 2017-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN206956211U | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 张瀛;贺贤汉;郡司拓;祁贵军 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司31203 | 代理人： | 顾雯 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供单晶硅生长炉籽晶绳固定装置，在隔离阀增加法兰，将此装置安装在法兰上。此装置可通过手摇滚轮控制籽晶绳护轮伸缩；在伸长状态下，籽晶绳护轮能保护籽晶绳减少摆动，在缩回状态籽晶绳护轮在隔离阀法兰内，不影响正常拉晶。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 生长 籽晶 固定 装置 | ||
【主权项】：
单晶硅生长炉籽晶绳固定装置，其特征在于：包括固定于隔离阀(14)上的法兰和与法兰固定连接的法兰固定板(2)；包括外侧固定板(5)，所述外侧固定板(5)与法兰固定板(2)之间固定连接有导向杆(3)；包括与导向杆(3)平行设置的丝杠(8)，所述丝杠(8)连接丝杠螺母(9)，一端可旋转式固定于法兰固定板(2)上，一端穿过外侧固定板(5)连接手轮(11)；包括驱动板(4)，所述驱动板(4)一侧滑动连接导向杆(3)，一侧固定连接丝杠螺母(9)；包括与导向杆(3)平行设置的护轮连接杆(6)，所述护轮连接杆(6)一端固定于驱动板(4)中心，一端穿过法兰固定板(2)中心连接能够自转的护轮(1)；所述护轮(1)周向开有能够护住籽晶绳(13)的V型槽。
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