[实用新型]一种硅片中转装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片中转装置，包括中转部、调节组件和多个伸缩组件，所述中转部包括多个中转板，所述中转板用于承载硅片，多个所述中转板平行等间距设置；所述伸缩组件的两端分别连接相邻设置的两个所述中转板；所述调节组件通过拉伸或压缩所述伸缩组件来调整相邻的两个所述中转板之间的间距。通过调节相邻中转板之间的间距，将中转板插入对应规格的花篮内的硅片之间，通过中转板托起硅片并取出，再次调整相邻中转板之间的间距，可以将中转板上的硅片转移到对应规格的花篮中，操作简单、方便，避免硅片错位、划伤或擦伤硅片表面。

主权项

一种硅片中转装置，其特征在于，包括：中转部(1)，所述中转部(1)包括用于承载硅片的多个中转板(11)，多个所述中转板(11)平行等间距设置；多个伸缩组件(2)，每个所述伸缩组件(2)的两端分别连接相邻设置的两个所述中转板；及调节组件，所述调节组件通过拉伸或压缩所述伸缩组件(2)来调整相邻的两个所述中转板(11)之间的间距。