[实用新型]湿制程除静电装置及湿制程设备有效
| 申请号： | 201720595526.8 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN206775810U | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 郭建龙;金子善雄 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种湿制程除静电装置及湿制程设备，通过在湿制程设备的两个相邻湿区间之间的缓冲区间内设置离子除静电机构等组件，能够使得当进行湿制程处理的基板从一个湿区间进入相邻的另一个湿区间时，直接通过离子除静电机构除去静电，避免了现有技术中在干燥区间无法有效地消除水段或药液段产生的静电的问题，同时避免了因水段或药液段产生的静电造成的设备故障，进而提升湿制程设备清除基板残余微粒的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 湿制程 静电 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种湿制程除静电装置，其特征在于，包括：用于提供带电离子气团的离子除静电机构以及用于为所述离子除静电机构提供气体的气体送入机构，所述离子除静电机构设置于湿制程设备的缓冲区间内，所述气体送入机构连接所述离子除静电机构。
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