[实用新型]单片基板湿法制程中腐蚀清洗干燥装置

摘要

本实用新型公开了一种单片基板湿法制程中腐蚀清洗干燥装置，属于半导体制造、太阳能电池制造及液晶制造技术领域。所述清洗干燥装置包括箱体、上下料装置、基板固定装置、基板喷洗干燥装置、基板旋转装置和药液回收装置，所述箱体的上端具有开口，下端具有药液排出口；所述上下料装置位于所述箱体上，所述基板固定装置设置在所述箱体内，所述基板旋转装置位于所述箱体的下方；所述基板固定装置与基板旋转装置之间采用传动轴连接；所述基板喷洗干燥装置包括基板正面喷洗干燥装置和基板背面喷洗干燥装置；所述药液回收装置位于箱体的下方且与箱体的药液排出口之间采用管道连接。本实用新型能够在保证清洗效果的同时能够对单片基板进行快速清洗。

主权项

一种单片基板湿法制程中腐蚀清洗干燥装置，其特征在于，包括箱体、上下料装置、基板固定装置、基板喷洗干燥装置、基板旋转装置和药液回收装置，其中：所述箱体的上端具有开口，下端具有药液排出口；所述上下料装置位于所述箱体上，所述基板固定装置设置在所述箱体内，所述基板旋转装置位于所述箱体的下方；所述基板固定装置与基板旋转装置之间采用传动轴连接；所述基板喷洗干燥装置包括基板正面喷洗干燥装置和基板背面喷洗干燥装置，所述基板正面喷洗干燥装置包括位于基板固定装置上方的第一去离子水喷洗装置、第一热N2干燥装置、第一药液喷洗装置和刷洗装置，所述基板背面喷洗干燥装置包括位于基板固定装置下方的第二去离子水喷洗装置、第二热N2干燥装置和第二药液喷洗装置，所述第二去离子水喷洗装置、第二热N2干燥装置和第二药液喷洗装置的喷嘴均位于所述箱体内；所述药液回收装置位于所述箱体的下方且与所述箱体的药液排出口之间采用管道连接。