[实用新型]用于超大口径凸扁球面检测的光学系统

摘要

本专利公开了一种用于超大口径凸扁球面检测的光学系统。该检测光学系统包括平面干涉仪、折反射式球面弯月透镜，其中折反射式球面弯月透镜的折射部分用于补偿待检凸扁球面镜的三级像差、反射部分反射待检凸扁球面镜的出射光线形成自准光路。本专利所述的检测光学系统针对超大口径的凸扁球面镜检测，在保证检测精度的同时降低了补偿器的加工装配难度、减少了误差因素的来源并降低了补偿系统的成本。本专利具有测量口径大、检测光路简单的特点。

主权项

一种用于超大口径凸扁球面检测的光学系统，由平面干涉仪(3)和折反射式球面弯月透镜(1)组成，其特征在于：所述的折反射式球面弯月透镜(1)玻璃材料为K9、光焦度为正值且其凹面(S1‑2)镀一层半透半反膜；所述的折反射式球面弯月透镜(1)放置于平面干涉仪(3)和待检扁球面镜(2)之间，折反射式球面弯月透镜(1)的凸面(S1‑1)正对平面干涉仪(3)、凹面正对待检扁球面镜(2)；折反射式球面弯月透镜(1)凹面(S1‑2)的球心与光线被凸扁球面镜(2)第一次反射后形成的发散球面波的球心重合；平面干涉仪(3)发出的一束平行光束经过球面弯月透镜(1)折射后，直接入射到待检凸扁球面镜(2)上，被待检凸扁球面镜(2)反射到球面弯月透镜(1)的凹面(S1‑2)后再次原路反射回待检凸扁球面镜(2)，被待检凸扁球面镜(2)二次反射后光束经球面弯月透镜(1)折射后进入平面干涉仪(3)。