[实用新型]真空现场校准装置有效

专利信息
申请号: 201720604857.3 申请日: 2017-05-27
公开(公告)号: CN206740311U 公开(公告)日: 2017-12-12
发明(设计)人: 张强;彭刚;何亚洲;郑胜清;栾海峰;张银鹏 申请(专利权)人: 江苏省计量科学研究院
主分类号: G01L27/00 分类号: G01L27/00
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司32243 代理人: 王素琴
地址: 210046*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种真空现场校准装置,包括球形校准室、高真空主抽阀、预抽阀、前级阀、分子泵、前级机械泵和微调阀,球形校准室设置有标准真空规接口、被检真空规接口、微调阀和抽真空排气出口,抽真空排气出口通过管路分别与高真空主抽阀和预抽阀相连,真空主抽阀连接分子泵,预抽阀连接前级机械泵,分子泵和前级机械泵之间通过前级阀连通;实现装置体积小、结构紧凑、校准室可拆卸,便于运输携带;测量范围广,符合大气到低真空范围静态比较法和高真空动态比较法真空标准装置要求;具有较高的校准稳定性和准确度,可满足现场真空装置和真空计检测与校准的需求的优点。
搜索关键词: 真空 现场 校准 装置
【主权项】:
真空现场校准装置,其特征在于:包括球形校准室、高真空主抽阀、预抽阀、前级阀、分子泵、前级机械泵和微调阀, 球形校准室设置有标准真空规接口、被检真空规接口、微调阀和抽真空排气出口,抽真空排气出口通过管路分别与高真空主抽阀和预抽阀相连,真空主抽阀连接分子泵,预抽阀连接前级机械泵,分子泵和前级机械泵之间通过前级阀连通。
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