[实用新型]测试结构有效
| 申请号： | 201720607616.4 | 申请日： | 2017-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN206774539U | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 张沥文;宋永梁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种测试结构，所述测试结构为位于层间介质中的金属测试结构，所述测试结构包括第一测试结构和第二测试结构，所述第一测试结构包括第一层导线、第二层导线和若干段层间导线，所述第一层导线包括各自断开的若干段第一导线段，所述第二层导线包括各自断开的若干段第二导线段，且形成所述第一导线段与所述第二导线段交替连接的曲折导线。在本实用新型提供的测试结构中，形成交替连接的曲折导线结构的第一测试结构，通过测试第一测试结构上两端即可得到金属导线的电气特征；在第一测试结构与第二测试结构之间进行测试即可得到层间介质的电气特性；当分别从第一测试结构的一端来与第二测试结构进行测试可快速的确认发生异常的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种测试结构，其特征在于，所述测试结构为位于层间介质中的金属测试结构，所述测试结构包括：第一测试结构，所述第一测试结构包括第一层导线、第二层导线和若干段层间导线，所述第一层导线包括各自断开的若干段第一导线段，所述第二层导线包括各自断开的若干段第二导线段，通过若干段所述层间导线将若干段所述第一导线段和若干段所述第二导线段连接在一起，且形成所述第一导线段与所述第二导线段交替连接的曲折导线；第二测试结构，所述第二测试结构沿所述第一测试结构的伸展方向分布在所述第二层导线一侧。
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