[实用新型]自动楔焊键合机用夹具有效
申请号: | 201720610874.8 | 申请日: | 2017-05-27 |
公开(公告)号: | CN206742206U | 公开(公告)日: | 2017-12-12 |
发明(设计)人: | 杨建军 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人: | 苏英杰 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种自动楔焊键合机用夹具,涉及半导体封装技术领域;包括底座、器件承载体和若干个定位块;器件承载体放置在底座上,定位块放置在器件承载体上;底座上设有若干个与设备连接的螺丝定位孔;底座正面设有第一真空孔;器件承载体上设有2个以上的键合器件定位单元;每个键合器件定位单元包括若干定位沉孔、与定位沉孔相配合的定位块和至少一个第二真空孔;所述第二真空孔通过器件承载体背面设有的第二真空槽与第一真空孔连通;结构简单,使用方便,适用于不同的产品,使用范围广,节约材料,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 自动 楔焊 键合机用 夹具 | ||
【主权项】:
一种自动楔焊键合机用夹具,包括底座(1)、器件承载体(5)和若干个定位块(9);器件承载体(5)放置在底座(1)上,定位块(9)放置在器件承载体(5)上;所述底座(1)上设有若干个与设备连接的螺丝定位孔(2);底座(1)正面设有第一真空孔(3);其特征在于:所述器件承载体(5)上设有2个以上的键合器件定位单元;每个键合器件定位单元包括若干定位沉孔(7)、与定位沉孔(7)相配合的定位块(9)和至少一个第二真空孔(6);所述第二真空孔(6)通过器件承载体(5)背面设有的第二真空槽与第一真空孔(3)连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造