[实用新型]用于液体环境的原子力显微镜有效

专利信息
申请号: 201720645302.3 申请日: 2017-06-06
公开(公告)号: CN207301107U 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 韩雄;王矛宏;钱锋;都有为;王辰成 申请(专利权)人: 苏州飞时曼精密仪器有限公司
主分类号: G01Q60/24 分类号: G01Q60/24;G01Q10/00;G01Q10/06
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 代理人: 韩飞
地址: 215163 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种用于液体环境的原子力显微镜,包括AFM主机、控制系统和计算机处理模块,所述AFM主机包括XY向扫描台、设置在所述XY向扫描台上的Z向扫描台、设置在所述Z向扫描台上的液体盒、设置在所述液体盒上的透明玻璃、设置在所述透明玻璃底部的探针定位块、设置在所述探针定位块上的探针及设置在所述透明玻璃上方的激光器、半透镜、反光镜和四象限探测器。本实用新型的用于液体环境检测的原子力显微镜,实现了在全液相环境下样品的扫描检测,本实用新型结构设计巧妙,消除了气体和液体的界面,避免了液体表面张力和液面抖动对微探针以及激光光路的影响,使激光在液体下对准更加简单,操作更加方便,检测结果更加准确。
搜索关键词: 用于 液体 环境 原子 显微镜
【主权项】:
一种用于液体环境的原子力显微镜,其特征在于,包括:AFM主机、控制系统和计算机处理模块,所述AFM主机包括XY向扫描台、设置在所述XY向扫描台上的Z向扫描台、设置在所述Z向扫描台上的液体盒、盖设在所述液体盒上的盖板、设置在所述盖板中央的透明玻璃、设置在所述液体盒内的探针定位块、固定设置在所述探针定位块上的探针及设置在所述透明玻璃上方的激光器、半透镜、反光镜和四象限探测器。
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