[实用新型]电容式压力传感器及压力测量电路

摘要

本实用新型适用于传感器技术领域，提供了一种电容式压力传感器及压力测量电路，电容式压力传感器包括设有一空腔的衬底、可动薄膜和叉指电容；可动薄膜设置在衬底的空腔的上部，可动薄膜与衬底固定连接；叉指电容包括固定电极和可动电极，固定电极设置在衬底上，可动电极设置可动薄膜上，固定电极与可动电极交叉且位于同一平面上。由于叉指电容的可动电极直接设置在可动薄膜上，当可动薄膜受到外界压力发生形变时，会使得可动电极的发生较大的形变量，造成可动电极相对于固定电极发生较大的位移，导致叉指电容的电容值发生较大变化，能够有效提高电容式压力传感器的测量灵敏度。

主权项

一种电容式压力传感器，其特征在于，包括：设有一空腔的衬底、可动薄膜和叉指电容；所述可动薄膜设置在所述衬底的空腔的上部，所述可动薄膜与所述衬底固定连接；所述叉指电容包括固定电极和可动电极，所述固定电极设置在所述衬底上，所述可动电极设置所述可动薄膜上。