[实用新型]一种单晶体硅加工用抛光装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶体硅加工用抛光装置，包括托盘和桌面，所述桌面上固定连接有套环，所述套环内设有托盘，所述托盘下表面通过弹簧固定连接于顶板，所述顶板下表面中心处与液压杆的伸缩端固定连接，所述液压杆固定在机架上，所述桌面的一侧与立柱的底端固定连接，所述立柱的顶部安装有电机，所述电机的输出转轴上安装有抛光盘，所述桌面的另一侧安装有开关盒，所述机架上还安装有真空泵。本实用新型可以缓解因单晶硅薄片厚度不同导致抛光轮施加较大的压力的情况，利用真空可以有效的对单晶硅薄片进行固定，防止单晶硅薄片在抛光时松动，提高了加工的良品率。

主权项

一种单晶体硅加工用抛光装置，包括托盘（9）和桌面（12），其特征在于：所述桌面（12）上固定连接有套环（3），所述套环（3）内设有托盘（9），所述托盘（9）下表面通过弹簧（11）固定连接于顶板（10），所述顶板（10）下表面中心处与液压杆（8）的伸缩端固定连接，所述液压杆（8）固定在机架（6）上，所述桌面（12）的一侧与立柱（14）的底端固定连接，所述立柱（14）的顶部安装有电机（1），所述电机（1）的输出转轴上安装有抛光盘（2），所述桌面（12）的另一侧安装有开关盒（4），所述机架（6）上还安装有真空泵（7）。