[实用新型]测量系统

摘要

本实用新型公开了一种测量系统，其包括透镜组件，其被配置为接收来自被测样品的反射光，并将反射光至少分为第一反射光和第二反射光；成像单元，其被配置为接收第一反射光，以获取被测样品表面的成像数据，成像数据包括被测孔在被测样品的至少一个检测区域中的分布信息；膜厚测量单元，其被配置为接收第二反射光，以获取被测孔的孔底膜厚的数据；以及处理单元，其与成像单元、膜厚测量单元通信连接，并且被配置为基于分布信息来确定被测孔的检测路径，并基于孔的检测路径来使得膜厚测量单元获得每个被测孔的孔底膜厚的数据，进而实现对至少一个检测区域中的被测孔的测量。

主权项

一种测量系统，其特征在于，包括：透镜组件，其被配置为接收来自被测样品的反射光，并将所述反射光至少分为第一反射光和第二反射光；成像单元，其被配置为接收所述第一反射光，以获取所述被测样品表面的成像数据，所述成像数据包括所述被测样品的至少一个检测区域中的至少一个被测区的分布信息；膜厚测量单元，其被配置为接收所述第二反射光，用于获取所述至少一个被测区中指定的物的膜厚的数据；以及处理单元，其与所述成像单元、所述膜厚测量单元通信连接，并且被配置为基于所述分布信息来确定所述至少一个被测区的检测路径，并基于所述至少一个被测区的检测路径来使得所述膜厚测量单元获得所述被测区的膜厚的数据，进而实现对所述至少一个检测区域中的指定的被测区的测量；其中，在光学路径上，所述成像单元的光谱接收面、所述膜厚测量单元的光谱接收面被设置为与所述被测样品光学共轭。