[实用新型]晶体硅太阳能电池的退火装置

摘要

本实用新型公开了一种晶体硅太阳能电池的退火装置，包括腔体，所述腔体与外部的真空装置及惰性气体装置连接，以提供真空及惰性气体环境；及置于所述腔体内部的注入机构，所述注入机构包括上下设置的上平台、下平台及支撑于两者之间的导轨，所述上平台和所述下平台中至少有一个能够沿着所述导轨滑动，以调整两者之间的间距，所述上平台和所述下平台的相对的表面均设置有冷却平台，所述冷却平台的表面设置有能够与其分离以绝热或闭合以传热的加热电极，所述冷却平台与所述加热电极之间设置有绝缘垫层，所述加热电极连接外部电源，所述真空装置及惰性气体装置、所述冷却平台连接控制系统；其能够实现电注入与退火工艺的独立调控。

主权项

晶体硅太阳能电池的退火装置，其特征在于，包括：腔体(1)，所述腔体(1)与外部的真空装置及惰性气体装置连接，以提供真空及惰性气体环境；及置于所述腔体(1)内部的注入机构(10)，所述注入机构(10)包括上下设置的上平台(7)、下平台(8)及支撑于两者之间的导轨(9)，所述上平台(7)和所述下平台(8)中至少有一个能够沿着所述导轨(9)滑动，以调整两者之间的间距，所述上平台(7)和所述下平台(8)的相对的表面均设置有冷却平台(3)，所述冷却平台(3)的表面设置有能够与其分离以绝热或闭合以传热的加热电极(2)，所述冷却平台(3)与所述加热电极(2)之间设置有绝缘垫层(4)，所述加热电极(2)连接外部电源(11)，所述真空装置及惰性气体装置、所述冷却平台(3)连接控制系统。