[实用新型]研抛工具和抛光机

摘要

本实用新型提供的研抛工具和抛光机，涉及计算机控制光学表面成形技术领域。该研抛工具用于安装在抛光机上，抛光机包括抛光机本体。研抛工具包括抛光组件和抛光模层。抛光组件包括导流件，抛光模层与导流件的一侧连接，导流件的另一侧用于与抛光机本体连接，导流件具有流体通道，抛光模层具有出液通道，流体通道的一端与出液通道连通，流体通道的另一端穿出导流件。该研抛工具能有效地控制抛光液分布的均匀性，并能使抛光液渗入抛光工具底部，提高抛光效率，同时能大量带走研抛工具底部中心区域温度，使元件面抛光稳定，元件面形精度高。由于采用该研抛工具，本实用新型提供的抛光机也能提高抛光效率，使元件面抛光稳定，元件面形精度高。

主权项

一种研抛工具，用于安装在抛光机上，所述抛光机包括抛光机本体，其特征在于，所述研抛工具包括抛光组件和抛光模层；所述抛光组件包括导流件，所述抛光模层与所述导流件的一侧连接，所述导流件的另一侧用于与所述抛光机本体连接，所述导流件具有流体通道，所述抛光模层具有出液通道，所述流体通道的一端与所述出液通道连通，所述流体通道的另一端穿出所述导流件。