[实用新型]一种进气机构及预清洗腔室

摘要

本实用新型提供一种进气机构及预清洗腔室。本实用新型的进气机构包括盖板和保护板，其中，在盖板中设置有进气通道，该进气通道与气源连接；在盖板和保护板之间设置有缓冲腔；在保护板中设置有出气口；气源提供的工艺气体依次通过进气通道、缓冲腔和出气口进入工艺腔，并且，进气机构还包括阻挡件，该阻挡件设置在缓冲腔内，并能够遮挡出气口，以阻挡自出气口进入缓冲腔的颗粒物到达所述盖板，防止盖板被污染。本实用新型的预清洗腔室包括本实用新型的进气机构。本实用新型提供的进气机构和预清洗腔室，可以避免盖板被污染，从而可以提高设备的使用寿命。

主权项

一种进气机构，包括盖板和保护板，其中，在所述盖板中设置有进气通道，所述进气通道与气源连接；在所述盖板和所述保护板之间设置有缓冲腔；在所述保护板中设置有出气口；所述气源提供的工艺气体依次通过所述进气通道、所述缓冲腔和所述出气口进入工艺腔，其特征在于，所述进气机构还包括阻挡件，所述阻挡件设置在所述缓冲腔内，并能够遮挡所述出气口，以阻挡自所述出气口进入所述缓冲腔的颗粒物到达所述盖板，防止所述盖板被污染。