[实用新型]一种等离子刻蚀尾气处理装置

摘要

本实用新型公开一种等离子刻蚀尾气处理装置，属于等离子刻蚀制程领域，包括用于尾气反应的腔室，所述腔室呈凸字形，腔室包括上腔体和下腔体；所述下腔体内设有处理液，下腔体一侧设有排气管路，所述上腔体的一侧设有进气口，上腔体的顶部外设有电机，电机上接有一贯穿上腔体顶部的旋转轴，旋转轴上接有可随旋转轴转动的搅拌扇；所述搅拌扇包括与旋转轴连接的扇杆、及设置在扇杆两端的扇叶。本实用新型的装置通过在尾气处理系统内部加装搅拌扇，通过扇叶的高速旋转，将粘附在侧壁的尾气杂质剥离，使腔室的保养频率由原来的一月一次降低到三月一次，有效提高工作效率，降低人工成本。

主权项

一种等离子刻蚀尾气处理装置，其特征在于，包括用于尾气反应的腔室(3)，所述腔室(3)呈凸字形，腔室(3)包括上腔体(5)和下腔体(2)；所述下腔体(2)内设有处理液(1)，下腔体(2)一侧设有排气管路(4)，所述上腔体(5)的一侧设有进气口(11)，上腔体(5)的顶部外设有电机(7)，电机(7)上接有一贯穿上腔体(5)顶部的旋转轴(8)，旋转轴(8)上接有可随旋转轴(8)转动的搅拌扇(6)；所述搅拌扇(6)包括与旋转轴(8)连接的扇杆(9)、及设置在扇杆(9)两端的扇叶(10)。