[实用新型]一种石英玻璃盖的激光加工装置

摘要

本实用新型公开了一种石英玻璃盖的激光加工装置，包括底座，设置于所述底座上的工作平台，所述工作平台与所述底座为弹性连接，所述工作平台上设置有三维运动系统，所述三维运动系统连接有工控机，所述工控机连接有显示屏；所述工作平台的两侧还设置有立柱，所述立柱的顶部固定连接有光学平台，所述光学平台的顶面与所述工作平台平行，所述光学平台的顶面设置有所述转折镜组件和激光发生器；所述三维运动系统设置有用于吸附石英玻璃盖的真空吸附平台，所述真空吸附平台上方设置有金刚石刀轮、所述振镜、所述流体冷却系统的喷嘴，所述振镜底部安装有透镜；其使得加工后的石英玻璃盖能够提供更好的密封性能。

主权项

1.一种石英玻璃盖的激光加工装置，包括底座（1），设置于所述底座（1）上的工作平台（4），所述工作平台（4）与所述底座（1）为弹性连接，所述工作平台（4）上设置有三维运动系统，所述三维运动系统连接有工控机（16），所述工控机（16）连接有显示屏（14）；所述工作平台（4）的两侧还设置有立柱（5），所述立柱（5）的顶部固定连接有光学平台（7），所述光学平台（7）的顶面与所述工作平台（4）平行，所述光学平台（7）的顶面设置有转折镜组件（6）和激光发生器（8）；所述三维运动系统设置有用于吸附石英玻璃盖的真空吸附平台（15），所述真空吸附平台（15）上方设置有金刚石刀轮（13）、振镜（12）、流体冷却系统（3）的喷嘴，所述振镜（12）底部安装有透镜，所述激光发生器（8）发出的光束经所述转折镜组件（6）发射后进入所述振镜（12），所述振镜（12）扫描以形成与加工路径相匹配的形状的激光光斑，通过三维运动系统动作带动石英玻璃盖运动，使激光光斑沿预定的切割路径加热石英玻璃，同时通过所述流体冷却系统（3）的喷嘴冷却，通过应力使石英玻璃断裂，其特征在于：所述激光发生器（8）的功率为200～300W，激光波长为10.5μm；所述真空吸附平台（15）的上方还设置有石英玻璃盖的切割端面的粗糙度检测装置，所述粗糙度检测装置连接所述工控机（16）；所述真空吸附平台（15）的上方还设置有端面研磨装置，所述端面研磨装置连接所述工控机（16），当所述粗糙度检测装置检测到的端面粗糙度大于预定值时，所述端面研磨装置对切割端面进行研磨。