[实用新型]用于晶圆测试的探针卡及测试系统

摘要

本实用新型提供一种用于晶圆的测试系统，该系统包括测试仪、单片机和探针卡，测试仪用于对晶圆进行第一测试，单片机接收测试仪的启动信号，单片机通过加密算法对晶圆进行第二测试，探针卡上的焊接位连接探针，探针接触晶圆，探针卡上设置有接收测试仪第一通断信号并与第一单片机接口、第一探针组连接的第一继电器、接收测试仪第二通断信号并与第二单片机接口、第二探针组连接的第二继电器以及接收第三通断信号并与第三探针组连接的第三继电器组，第一单片机接口、第二单片机接口连接单片机，探针卡完成各测试部件的连接。通过测试仪和单片机分别对芯片进行不同测试，并利用探针卡上的继电器进行切换，其能够大大提升测试效率。

主权项

用于晶圆测试的探针卡，其特征在于，包括电路板，所述电路板上设置有：圆形通孔，沿所述圆形通孔的边缘位置设置有焊接位，所述焊接位沿所述圆形通孔的周向连接有第一探针组、第二探针组和第三探针组，所述第一探针组、所述第二探针组和所述第三探针组中的探针的第一端连接所述焊接位，所述探针的第二端贯穿所述圆形通孔；第一单片机接口；第一继电器，所述第一继电器与所述第一单片机接口、所述第一探针组连接；第二单片机接口；第二继电器，所述第二继电器与所述第二单片机接口、所述第二探针组连接；第三继电器组，所述第三继电器组与所述第三探针组连接。