[实用新型]一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风模组有效
| 申请号： | 201720751404.3 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN207053775U | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 邱冠勳;蔡孟錦;詹竣凱;周宗燐;宋青林 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风模组。该芯片包括背极、振膜和具有背腔的衬底，衬底与背极连接在一起以在它们之间形成容纳空间，振膜被自由设置在容纳空间内，振膜与背腔相对，在容纳空间内设置有限位柱，限位柱穿过振膜，以限定振膜的振动方向，在背极与振膜之间设置有用于防止背极与振膜粘连的第一凸起。本实用新型所要解决的一个技术问题是现有的MEMS麦克风芯片的振膜在振动时会横向摆动。实用新型的一个用途是用于MEMS麦克风模组。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 芯片 以及 模组 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风芯片，其特征在于，包括背极(14)、振膜(13)和具有背腔(12)的衬底(11)，所述衬底(11)与所述背极(14)连接在一起以在它们之间形成容纳空间，所述振膜(13)被自由设置在所述容纳空间内，所述振膜(13)与所述背腔(12)相对，在所述容纳空间内设置有限位柱(17)，所述限位柱(17)穿过所述振膜(13)，以限定所述振膜(13)的振动方向，在所述背极(14)与所述振膜(13)之间设置有用于防止所述背极(14)与所述振膜(13)粘连的第一凸起。
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