[实用新型]晶片表面平整度检测仪

摘要

晶片表面平整度检测仪，在其仪表板上安装有三至四个千分表，千分表用仪表板侧面的固定螺钉固定，仪表板的一侧下部安装有两根定位柱三根支撑脚，仪表板放置在托板上，托板上外圆周内均匀放置晶片，托板放置在转动盘中央，转动盘表面一侧安装有两根托板的定位钉，转动盘表面外圆周上加工有多组平行的双卡槽，转动盘通过环形轴承安装在底板上。采用本技术，将晶片放置在托板表面外圆周面上，将仪表板上的千分表的测量柱放置在同一片晶片表面，操作人一次得到晶片表面多个不同位置的测量数据，从而快速完成对晶片平整度的检测，测量完成后只需要转动转动盘，即可重复上述操作，快速完成托板上多片晶片的检测。

主权项

晶片表面平整度检测仪，在其仪表板（8）下安装有长度相同的三个支撑脚（7），仪表板（8）上安装千分表（9），其特征在于：该检测仪由圆形的仪表板（8）、托板（1）、转动盘（2）和底板（4）组成，在仪表板（8）上安装有三至四个均匀分布的千分表（9），千分表（9）的测量柱（10）下端在一个水平面上，该水平面与三个支撑脚（7）下端确定的平面平行，千分表（9）用仪表板（8）侧面的固定螺钉（11）固定，仪表板（8）的一侧下部安装有两根定位柱（12），仪表板（8）放置在托板（1）上，托板（1）上外圆周内均匀放置晶片（6），仪表板（8）上的支撑脚（7）支撑在晶片（6）外围，千分表（9）的测量柱（10）位于同一块晶片表面上，托板（1）放置在转动盘（2）中央，转动盘（2）表面一侧安装有两根托板（1）的定位钉（3），转动盘（2）表面外圆周上加工有多组平行的双卡槽（13），在转动盘（2）下面中央安装有环形轴承（5），环形轴承（5）下面安装在底板（4）上。