[实用新型]一种碳化硅加工冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅加工冷却装置，包括第一电极板、第二电极板和加热炉，所述第一电极板和第二电极板的外侧设有安装板，所述安装板通过螺钉安装于加热炉的内部，所述加热炉的内部通过十字隔热板设有腔体，所述腔体的内部设有第一冷却水管，所述加热炉的侧壁内部设有第二冷却水管，所述加热炉的下部设有第一进水口，所述加热炉的上部设有第一出水口，本实用新型冷却水进入第二冷却水管，第二冷却水管内部冷却水将对加热炉整体进行降温，然后再通过第一冷却水管的冷却水，对腔体进行降温，单一对腔体的内部温度不受其他对腔体的影响，待温场稳定后，下籽晶，避免温场分布不均使碳化硅单晶粘锅，提高晶体的合格率，降低生产成本。

主权项

一种碳化硅加工冷却装置，包括对称设置的半圆形第一电极板(3)、第二电极板(4)和两电极外周的加热炉(8)，其特征在于：所述第一电极板(3)和第二电极板(4)的连接于竖直设置的钨加热棒(5)上端，所述钨加热棒(5)的下端插接有钨环(11)，所述第一电极板(3)和第二电极板(4)的外侧设有安装板(1)，所述安装板(1)的表面设有安装孔(2)，所述安装板(1)通过螺钉(10)安装于加热炉(8)的内部，所述加热炉(8)的上端设有上盖(14)，所述加热炉(8)的内部通过十字隔热板(7)分割为四个腔体(17)，所述腔体(17)的内部设有第一冷却水管(9)，所述加热炉(8)的侧壁内部周向设有第二冷却水管(6)，所述加热炉(8)的下部、上部分别设有连通第一冷却水管(9)的第一进水口(15)、第一出水口(16),所述加热炉(8)的右侧下部、左侧上部分别设有连通第二冷却水管(6)的、第二进水口(12)、第二出水口(13)。