[实用新型]一种碳化硅加工籽晶夹持装置有效
申请号: | 201720771093.7 | 申请日: | 2017-06-29 |
公开(公告)号: | CN207109155U | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | 王晓;杨树莲;刘鹏飞;柏文文 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人: | 苗峻 |
地址: | 250101 山东省济南市高新区新*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种碳化硅加工籽晶夹持装置。其包括夹持柱体,所述夹持柱体的底部设有夹持腔,所述夹持腔的上侧位于夹持柱体的上部设有夹持后腔,所述夹持腔的侧边设有凹槽,所述凹槽的内部通过螺杆连接有夹紧块,所述夹紧块的内部设有轴承,所述螺杆的一端套接于轴承的内部,本实用新型通过观察口的设置,可观察到碳化硅籽晶是否进入至夹持后腔的合适位置处,在碳化硅籽晶经由夹持腔进入夹持后腔,碳化硅籽晶的上端以及上部侧边与夹持后腔接触时,通过后腔防护垫的设置,可起到保护碳化硅籽晶的作用,然后旋紧螺杆,使得夹紧块夹紧碳化硅籽晶时,夹紧块之间相互配合夹紧后,对碳化硅籽晶起到很好的夹紧固定作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳化硅 加工 籽晶 夹持 装置 | ||
【主权项】:
一种碳化硅加工籽晶夹持装置,包括夹持柱体(1),其特征在于:所述夹持柱体(1)的底部设有夹持腔(4),所述夹持腔(4)的上侧位于夹持柱体(1)的上部设有夹持后腔(9),所述夹持腔(4)的侧边设有凹槽(3),所述凹槽(3)的内部通过螺杆(2)连接有夹紧块(5),所述夹紧块(5)的内部设有轴承(7),所述螺杆(2)的一端套接于轴承(7)的内部。
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