[实用新型]隔振装置、物镜保护装置、投影物镜系统及光刻设备有效
| 申请号： | 201720773297.4 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN207096677U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 赵灿武;胡月;吴飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种隔振装置及物镜保护装置，所述隔振装置由柔性支座和限位支座组成，所述柔性支座和限位支座并排或同轴并列布置，其中所述柔性支座与物镜固定连接，所述限位支座被设置成与物镜支架以及柔性支座保持一定间隙固定，所述柔性支座与限位支座并排或同轴并列布置，所述限位支座和柔性支座均为具有6自由度的柔性元件。本实用新型提出的隔振装置及物镜保护装置能够产生或组合出两种或多种刚度，使得较大的载荷由较大的组合刚度进行缓冲，正常工况下的载荷由较小的组合刚度缓冲。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 物镜 保护装置 投影 系统 光刻 设备 | ||
【主权项】：
一种隔振装置，其特征在于，所述隔振装置包括柔性支座和限位支座，所述柔性支座与所述限位支座保持间隙；其中所述柔性支座与被支撑器件和底座间固定连接，所述限位支座与底座间固定相连而与所述被支撑器件物镜支架保持间隙。
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