[实用新型]一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备有效
| 申请号： | 201720782042.4 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN206862890U | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 胡爱兰;张宏超;姚小进 | 申请（专利权）人： | 上海尚朴光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/84;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司11496 | 代理人： | 王程远 |
| 地址： | 200000 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，包括连续激光器、光纤、光纤准直器、斩波器、分光镜、振镜、场镜、微透镜阵列、样品、二维压电平移台，连续激光器和光纤准直器之间通过光纤连接，光纤准直器位于斩波器的一侧，斩波器位于分光镜的一侧，连续激光器位于斩波器的一侧，分光镜位于振镜的一侧，振镜位于场镜的上方，分光镜位于场镜的一侧，光纤准直器位于场镜的上方，微透镜阵列位于样品的上方，样品位于二维压电平移台的上方，振镜位于微透镜阵列的上方。本实用新型振镜扫描结合二维压电平移台的扫描可同时做到高速、大面积和高分辨率的样品LBIC成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 透镜 阵列 扫描 高速 高分辨率 lbic 设备 | ||
【主权项】：
一种基于微透镜阵列和振镜扫描的高速高分辨率LBIC设备，包括连续激光器(1)、光纤准直器(3)、一号分光镜(5)、振镜(6)、场镜(7)、二维压电平移台(10)、二号分光镜(11)和相机(15)，其特征在于：所述连续激光器(1)的接口上插接有光纤(2)，光纤(2)的输出端插接在光纤准直器(3)上；所述光纤准直器(3)位于斩波器(4)的一侧，斩波器(4)的另一侧设置有一号分光镜(5)；所述一号分光镜(5)位于振镜(6)的一侧，光纤准直器(3)、斩波器(4)和一号分光镜(5)与振镜(6)设置在同一条直线上，振镜(6)设置在场镜(7)的上方；所述场镜(7)的下方设置有微透镜阵列(8)，微透镜阵列(8)位于样品(9)的上方，样品(9)位于二维压电平移台(10)的上方，振镜(6)、场镜(7)、微透镜阵列(8)均位于二维压电平移台(10)的上方，并与二维压电平移台(10)处在同一竖直轴线上；所述一号分光镜(5)的下方垂直设置有第一能量探头(12)，一号分光镜(5)的上方垂直设置有二号分光镜(11)；所述二号分光镜(11)的一侧设置有第二能量探头(13)，第二能量探头(13)位于第一能量探头(12)的上方；所述二号分光镜(11)的上方垂直设置有成像镜头(14)，成像镜头(14)位于相机(15)的下方，相机(15)、成像镜头(14)、二号分光镜(11)、一号分光镜(5)及第一能量探头(12)位于同一竖直轴线上。
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