[实用新型]一种防污染碳化硅晶体生长装置有效
| 申请号： | 201720786633.9 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN207109144U | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民;柏文文 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于晶体生长技术领域，具体涉及一种防污染碳化硅晶体生长装置，包括炉体和炉盖，炉体内设有坩埚，炉盖上嵌有观察窗；炉盖内侧旋转杆I，旋转杆I上与观察窗对应位置设有擦拭装置和和收集盒，擦拭装置位于收集盒上方；旋转杆I通过旋转杆II与炉盖相连，旋转杆II与炉盖上方的把手相连。本实用新型结构简单，既可以有效避免视窗被污染，又有效避免晶体生长过程中温度梯度过大、热应力过大导致晶体开裂的情况，提高了碳化硅晶体的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 污染 碳化硅 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
一种防污染碳化硅晶体生长装置，包括炉体(1)和炉盖(2)，炉体(1)内设有坩埚(3)，其特征在于：炉盖(2)上嵌有观察窗(4)；炉盖(2)内侧旋转杆I(5)，旋转杆I(5)上与观察窗(4)对应位置设有擦拭装置(6)和和收集盒(7)，擦拭装置(6)位于收集盒(7)上方；旋转杆I(5)通过旋转杆II(8)与炉盖(2)相连，旋转杆II(8)与炉盖(2)上方的把手(9)相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进材料科技有限公司，未经山东天岳先进材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720786633.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
