[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201720788983.9 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN206932406U | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 郝红蕾;李江龙 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 张超艳,袁文婷 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括背极板、与背极板相对设置的振膜；其中，背极板包括面向振膜的第一表面，在第一表面设置有介质层；其中，设置在第一表面的中间部分的介质层的介电常数小于设置在第一表面的周边部分的介质层的介电常数。通过本实用新型能够从根源上对MEMS麦克风的总谐波失真进行抑制，并且还能够调节振膜的灵敏度，进而提升MEMS麦克风的整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括背极板、与所述背极板相对设置的振膜；其特征在于，所述背极板包括面向所述振膜的第一表面，在所述第一表面设置有介质层；其中，设置在所述第一表面的中间部分的介质层的介电常数小于设置在所述第一表面的周边部分的介质层的介电常数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于歌尔科技有限公司，未经歌尔科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720788983.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
