[实用新型]坩埚、蒸发源及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201720793045.8 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN206916210U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;袁广才 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种坩埚、蒸发源及蒸镀设备。该坩埚包括坩埚本体，其中，所述坩埚本体包括分别设置有加热元件的内加热层和外加热层，其中所述外加热层在所述内加热层的外围，围绕所述内加热层设置，所述外加热层与所述内加热层之间的空间形成为待蒸镀材料的容纳空间。本实用新型所述坩埚通过设置能够分别被控制加热的内加热层和外加热层，使得在蒸镀过程中，可以通过控制两个加热层的开启或关闭，改变对蒸镀材料的加热面积，以达到控制坩埚内材料蒸发速率的目的，解决现有技术坩埚内仅设置一体的加热部分，在坩埚内材料减少时，仅能够通过提高加热功率调整蒸发速率，导致材料性能改变的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
一种坩埚，包括坩埚本体，其特征在于，所述坩埚本体包括：分别设置有加热元件的内加热层和外加热层，其中所述外加热层在所述内加热层的外围，围绕所述内加热层设置，所述外加热层与所述内加热层之间的空间形成为待蒸镀材料的容纳空间。
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