[实用新型]改进型离子源发生装置有效
| 申请号： | 201720795905.1 | 申请日： | 2017-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN206877966U | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 孟路燕;池超贤 | 申请（专利权）人： | 东华理工大学 |
| 主分类号： | H01J27/24 | 分类号： | H01J27/24 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 330000 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种结构设计新颖、紧凑、靶体使用率高的改进型离子源发生装置；包括离子源的靶体，靶体安装于靶体槽上；还包括反应源，所述靶体槽前端的A面上设有一凹孔，靶体安装于凹孔内，位于凹孔内的靶体前端与反应源前侧的B面始终保持面接触，所述反应源上设有一穿孔，还包括设置于反应源后侧并相对反应源固定的脉冲激光器，所述脉冲激光器射出的激光束穿过穿孔打在靶体的前端面上；所述靶体槽相对反应源的B面做自转运动，所述反应源相对靶体槽做纵向方向上的上下运动。 | ||
| 搜索关键词： | 改进型 离子源 发生 装置 | ||
【主权项】：
一种改进型离子源发生装置，包括离子源的靶体，靶体安装于靶体槽上；其特征在于：还包括反应源，所述靶体槽前端的A面上设有一凹孔，靶体安装于凹孔内，位于凹孔内的靶体前端与反应源前侧的B面始终保持面接触，所述反应源上设有一穿孔，还包括设置于反应源后侧并相对反应源固定的脉冲激光器，所述脉冲激光器射出的激光束穿过穿孔打在靶体的前端面上；所述靶体槽相对反应源的B面做自转运动，所述反应源相对靶体槽做纵向方向上的上下运动。
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