[实用新型]光刻设备绿色生态基座

摘要

本实用新型公开了一种光刻设备绿色生态基座，包括框体结构、钢筋结构和混凝土；框体结构包括钢板焊接而成的长方体框架和箱体；长方体框架设置于四角具有钢铁埋件的平台上，平台的上表面设置有用于固定长方体框架的固定件；钢筋结构设置于框体结构内部；钢筋结构为水平钢筋和垂直钢筋相互交叉连接而成的架体，垂直钢筋设置于所述的箱体外壁和长方体框架内壁之间。本实用新型所述的光刻设备绿色生态基座，采用圆形空间结构，基座强度更高，且采用尾矿、废石制备的混凝土，替代砂石料，制作成本低，性能更好，混凝土表面钢板包裹，无需粉刷抹平，能满足光刻设备高等级防微振性能和洁净室无粉尘要求。

主权项

一种光刻设备绿色生态基座，其特征在于包括：框体结构、钢筋结构和混凝土；所述的框体结构包括钢板焊接而成的长方体框架和箱体；所述的长方体框架设置于四角具有钢铁埋件的平台上，所述平台的上表面设置有用于固定长方体框架的固定件；所述的钢筋结构设置于框体结构内部；所述的钢筋结构为水平钢筋和垂直钢筋相互交叉连接而成的架体，所述的垂直钢筋设置于所述的箱体外壁和长方体框架内壁之间；所述的长方体框架内壁、箱体外壁和钢筋结构间填充有尾矿、废石制备的混凝土；所述的钢铁埋件为角钢，使所述长方体框架的四个角的底部外壁同所述角钢内壁限位固定，所述的固定件设置有四个，分别紧贴所述长方体框架内壁设置；所述的箱体为圆形箱体，所述箱体的直径为α，所述框体结构的宽度为β，β‑α≥260mm；所述光刻设备绿色生态基座表面具有喷漆涂层；所述的水平钢筋水平方向横竖组成网格状架体，相邻的所述水平钢筋间的间隙为180mm‑220mm，所述的垂直钢筋在水平钢筋的交叉节点上竖直设置，相邻的所述垂直钢筋的间距为180mm‑220mm；相邻的所述水平钢筋间的间隙为200mm，所述水平钢筋的直径为12mm；相邻的所述垂直钢筋的间距为200mm，所述垂直钢筋的直径为12mm。