[实用新型]一种用于人工晶体的生长装置有效
申请号: | 201720837656.8 | 申请日: | 2017-07-11 |
公开(公告)号: | CN206872981U | 公开(公告)日: | 2018-01-12 |
发明(设计)人: | 李留臣;周正星 | 申请(专利权)人: | 江苏星特亮科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人: | 孙仿卫 |
地址: | 215627 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于人工晶体的生长装置,包括托盘、多个沿圆周方向环绕的设于托盘上的坩埚、设于托盘上方的具有用于容纳多个坩埚的中空腔体的保温机构、设于保温机构中的位于多个坩埚外侧周部的外加热器、设于保温机构中的位于多个坩埚环绕中心的中心加热器。本实用新型一种用于人工晶体的生长装置,通过在多个坩埚的环绕中心设置中心加热器,对热场中心区域进行加热温度补偿,从而形成一个具有内、外共同加热的均匀热场区域,提高了大直径热场中温度的均匀性,提高了生产效率,降低了生产成本,使生长后的人工晶体的质量较好。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 人工 晶体 生长 装置 | ||
【主权项】:
一种用于人工晶体的生长装置,其特征在于:包括托盘、多个沿圆周方向环绕的设于所述托盘上的坩埚、设于所述托盘上方的具有用于容纳多个所述坩埚的中空腔体的保温机构、设于所述保温机构中的位于多个所述坩埚外侧周部的外加热器、设于所述保温机构中的位于多个所述坩埚环绕中心的中心加热器。
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