[实用新型]一种分离式扩散炉有效
| 申请号： | 201720838585.3 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN207600192U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 初亚东 | 申请（专利权）人： | 天津天物金佰微电子有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300380 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种分离式扩散炉，包括炉体支撑壳、炉体隔热板、加热层隔热板、加热仓、电路固定仓、独立热排口、热偶连接头、降温风扇组、温度感应器和降温控制器，所述炉体支撑壳被所述炉体隔热板和所述加热层隔热板分割出一个所述电路固定仓和多个所述加热仓，多个所述加热仓由上至下依次相连，所述电路固定仓与所述加热仓并排相连并由所述炉体隔热板作为分隔板，所述独立热排口设置在所述加热仓的侧壁上，所述炉体隔热板上设置有多个所述热偶连接头，所述降温风扇组设置在所述电路固定仓的侧壁上，所述温度感应器和所述降温控制器均设置在所述电路固定仓内。本实用新型的有益效果是提高扩散炉的加热稳定性，有效降低了炉管之间的热干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 隔热板 固定仓 加热仓 电路 炉体 扩散炉 本实用新型 降温控制器 温度感应器 降温风扇 炉体支撑 加热层 连接头 侧壁 热偶 热排 加热稳定性 依次相连 分隔板 热干扰 组设置 炉管 分割 | ||
【主权项】：
1.一种分离式扩散炉，包括炉体支撑壳、炉体隔热板、加热层隔热板、加热仓、电路固定仓、独立热排口、热偶连接头、降温风扇组、温度感应器和降温控制器，其特征在于：所述炉体支撑壳被所述炉体隔热板和所述加热层隔热板分割出一个所述电路固定仓和多个所述加热仓，多个所述加热仓由上至下依次相连，所述电路固定仓与所述加热仓并排相连并由所述炉体隔热板作为分隔板，所述独立热排口设置在所述加热仓的侧壁上，所述炉体隔热板上设置有多个所述热偶连接头，所述降温风扇组设置在所述电路固定仓的侧壁上，所述温度感应器和所述降温控制器均设置在所述电路固定仓内。
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