[实用新型]一种高真空环境下扫描探针换针装置有效
| 申请号： | 201720846452.0 | 申请日： | 2017-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN206960509U | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 董国材;张祥 | 申请（专利权）人： | 常州国成新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/16 | 分类号： | G01Q60/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213149 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高真空环境下扫描探针换针装置，包括扫描管探针固定头、探针架和探针架携带架，其中扫描管探针固定头包括磁铁、电极接触片，探针架包括铁磁板、针尖固定管和电极接触环，探针架携带架包括通孔和限位装置、抓取手柄。本实用新型的主要目的旨在解决高真空环境下，在不破坏真空情况下，通过快速进样室更换扫描探针显微镜探针的问题，避免换针过程中破换系统真空环境，以及探针跌落、错位等问题，提供一种能够提高扫描探针显微镜换针效率的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 环境 扫描 探针 装置 | ||
【主权项】：
一种高真空环境下扫描探针换针装置，其特征在于，包括扫描管探针固定头、探针架和探针架携带架。
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