[实用新型]晶圆定位激光二极管平行光源发射装置有效

专利信息
申请号: 201720849076.0 申请日: 2017-07-13
公开(公告)号: CN206946113U 公开(公告)日: 2018-01-30
发明(设计)人: 张德培 申请(专利权)人: 上海陛通半导体能源科技股份有限公司
主分类号: G02B27/30 分类号: G02B27/30
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201203 上海市浦东新区郭*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 晶圆定位激光二极管平行光源发射装置,包括激光二极管、透镜上卡槽、平凹透镜一、外筒圆柱、平凸透镜二、透镜下卡槽、内筒圆柱、平凸透镜三和盖板。所述的外筒圆柱内有上下两个阶梯型槽,上梯形槽用于放置平凸透镜一,下梯形槽用于放置平凸透镜二;所述的透镜上卡槽与外筒圆柱相连,透镜上卡槽内有贯穿孔洞,用于固定激光二极管;所述的透镜下卡槽内有椭圆形槽并有穿孔,透镜下卡槽放置在外筒圆柱内;所述的平凸透镜三放置在外筒圆柱底部端口,通过盖板与外筒圆柱固定。优点精准的发射出平行光源,用于晶圆定位。
搜索关键词: 定位 激光二极管 平行 光源 发射 装置
【主权项】:
晶圆定位激光二极管平行光源发射装置,其特征在于:包括激光二极管、透镜上卡槽、平凹透镜一、外筒圆柱、平凸透镜二、透镜下卡槽、内筒圆柱、平凸透镜三和盖板;所述的外筒圆柱内放置平凸透镜一和平凸透镜二;所述的透镜上卡槽与外筒圆柱相连,透镜上卡槽内有贯穿孔洞,用于固定激光二极管;所述的透镜下卡槽内有椭圆形槽并有穿孔,透镜下卡槽放置在外筒圆柱内;所述的内筒圆柱,外形呈圆环状,表面做黑化处理呈黑色,以防止光线反射,内筒圆柱放置在外筒圆柱内;所述的平凸透镜三放置在外筒圆柱底部端口,通过盖板与外筒圆柱固定。
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