[实用新型]一种石墨载板

摘要

本实用新型公开了一种石墨载板，包括板架，所述板架的内侧设有分隔筋，所述分隔筋的内侧设有放置槽，所述放置槽的内角设有弧形边，所述放置槽的内壁设有适配槽，所述适配槽的内侧设有条形板，所述条形板的外侧安装有压板，所述外凹槽的内侧设有合金杆。该石墨载板，通过压板、条形板和合金杆的配合，使用时将合金杆放入外凹槽内，使合金杆的外侧与板架平齐，合金杆两端的插杆插入插孔内，并通过定位销进行连接固定，以此来增强板架的强度，防止在使用一定时间后板架发生形变而影响加工硅片的精度，在使用硅片放置于放置槽内使，通过条形板内侧的压板进行压合固定，增强对硅片的固定效果，保证内部硅片制备效果。

主权项

一种石墨载板，包括板架（1），所述板架（1）的内侧设有分隔筋（2），所述分隔筋（2）的内侧设有放置槽（3），其特征在于：所述放置槽（3）的内角设有弧形边（4），所述放置槽（3）的内壁设有适配槽（10），所述适配槽（10）的内侧设有条形板（7），所述条形板（7）的外侧安装有压板（6），所述分隔筋（2）的内部设有中心杆（9），所述中心杆（9）通过连接杆（8）与条形板（7）相连，所述板架（1）的上下两端内侧均设有外凹槽（13），所述外凹槽（13）的内侧设有合金杆（12），所述板架（1）的左右两端均设有插孔（14），所述合金杆（12）的左右两侧均设有插杆（15），所述插杆（15）贯穿插孔（14），所述板架（1）的外侧贯穿连接有定位销（18），所述插杆（15）的外侧设有通孔（16），所述定位销（18）贯穿通孔（16）。