[实用新型]一种真空吸附晶圆的装置

摘要

本实用新型公开了一种真空吸附晶圆的装置，包括空压机、晶圆托盘、真空泵、气动控制阀，气动控制阀包括厂务真空接入端、气动执行机构端、晶圆吸附端，厂务真空接入端通过第一真空软管与真空泵连通，气动执行机构端通过第二真空软管与空压机的出气口连通，空压机的压缩空气作为气动执行机构的动力以驱动气动控制阀的阀体运动，晶圆吸附端通过第三真空软管与晶圆托盘连通。本实用新型采用气动控制阀取代了传统的真空发生器，通过真空泵为气动控制阀导入厂务真空，通过压缩空气控制气动控制阀的阀门开关，此装置能产生更大的真空负压，从而牢牢吸附经键合工艺后有一定翘曲度的晶圆片。

主权项

一种真空吸附晶圆的装置，包括空压机、晶圆托盘，其特征在于：还包括真空泵、气动控制阀，所述气动控制阀包括厂务真空接入端、气动执行机构端、晶圆吸附端，所述厂务真空接入端通过第一真空软管与所述真空泵连通，所述气动执行机构端通过第二真空软管与所述空压机的出气口连通，所述空压机的压缩空气作为气动执行机构的动力以驱动所述气动控制阀的阀体运动，所述晶圆吸附端通过第三真空软管与所述晶圆托盘连通。