[实用新型]一体化全自动同轴微观三维形貌测量装置

摘要

本实用新型提出了一种一体化全自动同轴微观三维形貌测量装置包括：准直滤波单元、共光路微分干涉单元、自动移相单元、全自动控制单元、图像采集单元。采用LED低相干光源、抑制了相干噪声带来的影响，提高测量精度；将垂直滤波单元封装，减小了外界环境带来的干扰；通过电控旋转台和二维平移台实现装置的全自动控制，不仅可以减小手动移相带来的误差，而且可以快速测量大范围表面形貌；采用共光路结构设计、抗外界机械干扰能力强，使用LED光源等器件价格低廉，易于推广。

主权项

1.一体化全自动同轴微观三维形貌测量装置，其特征在于：所述装置包括：准直滤波单元、共光路微分干涉单元、自动移相单元、全自动控制单元、图像采集单元；其中，准直滤波单元包括：依次设置于第一光轴上的LED光源、聚焦透镜、针孔滤波器、准直透镜、硬膜干涉滤光片、起偏器以及可调光阑，将所述准直滤波单元封装为一个模块，在装置中不需要后续的光路调节，封装后光路不会受到外界环境的干扰；所述共光路微分干涉单元包括：依次设置于第二光轴上的消偏振分光棱镜、双折射单轴石英晶体、显微物镜和被测样品；自动移相单元包括：依次设置于第二光轴上的1/4波片、检偏器，所述检偏器安装在电控旋转台上，所述1/4波片靠近所述消偏振分光棱；所述第一光轴与第二光轴通过所述消偏振分光棱镜垂直连接；所述图像采集单元包括：成像镜头、工业相机；全自动控制单元主要由三轴控制器，精密电控二维平移台，电控旋转台、三维形貌重构软件构成；计算机与工业相机和三轴控制器相连，所述三轴控制器与精密电控二维平移台以及电控旋转台相连，通过计算机控制，实现被测样品的二维移动、干涉图采集、样品形貌恢复。