[实用新型]一种带相位光栅和背面金反射层的超导单光子探测器

摘要

本实用新型提出一种带相位光栅和背面金反射层的超导单光子探测器，包括硅基衬底、金反射层、中间层、电极、氮化铌纳米线、相位光栅和栅台，所述硅基衬底上设有金反射层，所述金反射层上设有中间层，所述中间层上设有氮化铌纳米线，形成纳米线区，所述氮化铌纳米线的两端设有电极，所述氮化铌纳米线上设有相位光栅，所述相位光栅上设有栅台；所述金反射层的厚度大于100nm。本实用新型的带相位光栅和背面金反射层的超导单光子探测器在纳米线区上的相位光栅对光束产生干涉聚焦效果，氮化铌纳米线位于焦点位置，背面有金反射层将入射透过纳米线的光反射回纳米线，从而提高了氮化铌纳米线对光子的吸收效率。

主权项

一种带相位光栅和背面金反射层的超导单光子探测器，其特征在于，包括硅基衬底(1)、金反射层(2)、中间层(3)、电极(4)、氮化铌纳米线(5)、相位光栅(6)和栅台(7)，所述硅基衬底(1)上设有金反射层(2)，所述金反射层(2)上设有中间层(3)，所述中间层(3)上设有氮化铌纳米线(5)，形成纳米线区，所述氮化铌纳米线(5)的两端设有电极(4)，所述氮化铌纳米线(5)上设有相位光栅(6)，所述相位光栅(6)上设有栅台(7)；所述金反射层(2)的厚度大于100nm。