[实用新型]一种具有自动缓存功能的硅片装片机

摘要

本实用新型公开了一种具有自动缓存功能的硅片装片机，包括机架，机架上安装有硅片输送皮带、硅片缓存装置、花篮提升装置、满花篮输送皮带、空花篮输送皮带和触摸屏控制器，花篮提升装置设置在中间，硅片输送皮带和满花篮输送皮带分设于花篮提升装置的两侧，硅片缓存装置包括硅片缓存盒，硅片缓存盒为前后贯通设置，硅片缓存盒中穿设有硅片输送皮带，空花篮输送皮带设置在满花篮输送皮带的下方；触摸屏控制器电连接硅片输送皮带、硅片缓存装置、花篮提升装置、满花篮输送皮带和空花篮输送皮带。本实用新型具有自动感应而进行硅片的缓存，具有自动缓存功能和自动去缓存功能，解决硅片装片机出现故障的硅片缓存问题，降低人工成本，提高工作效率。

主权项

一种具有自动缓存功能的硅片装片机，其特征在于：包括机架，所述机架上安装有硅片输送皮带、硅片缓存装置、花篮提升装置、满花篮输送皮带、空花篮输送皮带和触摸屏控制器，所述花篮提升装置设置在中间，所述硅片输送皮带和满花篮输送皮带分设于所述花篮提升装置的两侧，所述硅片缓存装置包括硅片缓存盒，所述硅片缓存盒为前后贯通设置，所述硅片缓存盒中穿设有所述硅片输送皮带，所述空花篮输送皮带设置在所述满花篮输送皮带的下方；所述触摸屏控制器电连接所述硅片输送皮带、硅片缓存装置、花篮提升装置、满花篮输送皮带和空花篮输送皮带。