[实用新型]工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置

摘要

工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，它包括一配套用于反应设备的加热系统；所述的反应设备主要由反应槽和置于反应槽上部的反应槽上盖组成，所述的反应槽上盖通过内设于反应槽上部的反应槽托板安置在反应槽上部；所述加热系统包含若干数量的加热板、吹扫气体装置、阻挡条，其中加热板固定在反应槽上盖的下表面并被置于反应槽内，以便均匀加热衬底和反应液；所述的吹扫气体装置设置在加热板周边，以便加热均匀；所述的阻挡条有多条并设置在反应槽内，该阻挡条可加快局部水流速度，同时可以对药液进行分层；它具有结构简单，使用方便、可靠，加热快，能提升能量转换效率，使小功率把被加热物加热到很高温度成为可能等特点。

主权项

工业化化学水浴法沉积薄膜的反应药液加热装置，它包括一配套用于反应设备（1）的加热系统（2）；所述的反应设备（1）主要由反应槽（102）和置于反应槽（102）上部的反应槽上盖（101）组成，其特征在于所述的反应槽上盖通过内设于反应槽上部的反应槽托板（103）安置在反应槽（102）上部；所述加热系统包含若干数量的加热板（202）、吹扫气体装置（203）、阻挡条（201），其中加热板（202）固定在反应槽上盖的下表面并被置于反应槽内，所述的吹扫气体装置设置在加热板（202）周边；所述的阻挡条（201）有多条并设置在反应槽内。