[实用新型]优化TELtactras平台CDA管路压力报警系统的装置有效
| 申请号： | 201720878983.8 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN206930402U | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 汤介峰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/12 | 分类号： | G01L19/12;G08B21/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种优化TEL tactras平台CDA管路压力报警系统的装置，包括进口端设置压力侦测装置的主机台和与所述主机台连接的装载/卸载模块包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的门板气缸和起降气缸；传送模块包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的门板气缸和氮气开关阀门；工艺腔体模块；包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的工艺腔体；所述装载/卸载模块、传送模块和工艺腔体模块中的压力侦测装置与报警回路系统相连。本优化CDA管路压力报警系统，在每个模块的CDA分支上加装压力侦测装置和报警回路系统，当某个支路的CDA压力超规格，报警反馈给该模块，该模块停止运行，不影响其他模块的正常作业。 | ||
| 搜索关键词： | 优化 teltactras 平台 cda 管路 压力 报警 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种优化TEL tactras平台CDA管路压力报警系统的装置，其特征在于：包括：进口端设置压力侦测装置的主机台和与所述主机台连接的：装载/卸载模块：包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的门板气缸和起降气缸；传送模块：包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的门板气缸和氮气开关阀门；工艺腔体模块；包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的工艺腔体；所述装载/卸载模块、传送模块和工艺腔体模块中的压力侦测装置与报警回路系统相连。
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