[实用新型]粘合力检查装置有效
| 申请号： | 201720884179.0 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN207472740U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 渡部格 | 申请（专利权）人： | 苏州住友电木有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于检查硅基板的涂层与密封树脂的粘合性的粘合力检查装置。粘合力检查装置(100)包括载置台(110)、加压构件(120)、以及控制部(130)。在载置台(110)载置有试验体(10)。试验体(10)具有作为硅基板的基材(12)、半导体芯片的密封树脂的固化物(14)、和作为基材(12)涂层的中间层(13)。加压构件(120)从垂直于固化物(14)的侧面的方向，接触该侧面。控制部(130)控制加压构件(120)的动作。 | ||
| 搜索关键词： | 加压构件 检查装置 粘合力 密封树脂 固化物 硅基板 试验体 载置台 基材 半导体芯片 本实用新型 侧面 粘合性 中间层 载置 垂直 检查 | ||
【主权项】：
一种粘合力检查装置，其特征在于，包括：载置台，其载置试验体，所述试验体具有上表面具有涂层的硅基板和在所述涂层之上固化的密封树脂的固化物；加压构件，其从垂直于所述固化物的侧面的方向接触该侧面；以及控制部，其控制所述加压构件的动作，所述加压构件为长方体的形状。
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