[实用新型]带电量测定装置有效
| 申请号： | 201720884993.2 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN207301185U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 岩井正宽 | 申请（专利权）人： | 苏州住友电木有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/24 | 分类号： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 刘煜 |
| 地址： | 215021 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 提供一种测定密封树脂的易带电程度的测定装置。带电量测定装置(20)具有带电装置(100)以及测定装置(200)。带电装置(100)具有载置台(110)以及静电产生机构(120)。载置台(110)载置有被测定物(10)。被测定物(10)的至少上表面是密封半导体芯片的密封树脂。静电产生机构(120)通过反复摩擦载置于载置台(110)上的被测定物(10)的上表面，而在被测定物(10)上产生静电。 | ||
| 搜索关键词： | 电量 测定 装置 | ||
【主权项】：
一种带电量测定装置，其特征在于，具有：使半导体芯片带静电的带电装置；以及测定利用所述带电装置带电的所述半导体芯片的带电量的测定装置，所述带电装置具有：载置被测定物的载置台，所述被测定物的至少上表面是密封半导体芯片的密封树脂；静电产生机构，该静电产生机构通过水平方向反复摩擦载置于所述载置台的所述被测定物的所述上表面而在所述被测定物产生静电。
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