[实用新型]一种管道结构及光刻胶显影设备有效
| 申请号： | 201720911929.9 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN207164468U | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 潘卿峰 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种管道结构及光刻显影设备，适用于光刻胶显影设备，属于半导体生产技术领域，包括过滤器，包括出料口和废液排放口，所述出料口连通出料管道，所述废液排放口连接通废液排放管道；喷嘴，通过所述出料管道与所述过滤器连通；三通阀，设置于所述出料管道上，所述三通阀的进口与所述出料口连通，所述三通阀的两个出口分别连通所述喷嘴和所述废液排放管道。上述技术方案的有益效果是通过设置一个三通阀，在更换过滤器后，使过滤器的出料口与废液排放管道连通，通过废液排放管道排出过滤器中的空气，解决过滤器中的空气进入供液管道内无法从喷嘴端排出的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管道 结构 光刻 显影 设备 | ||
【主权项】：
一种管道结构，适用于光刻胶显影设备，其特征在于，包括：过滤器，包括出料口和废液排放口，所述出料口连通出料管道，所述废液排放口连接通废液排放管道；喷嘴，通过所述出料管道与所述过滤器连通；三通阀，设置于所述出料管道上，所述三通阀的进口与所述出料口连通，所述三通阀的两个出口分别连通所述喷嘴和所述废液排放管道。
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