[实用新型]一种膜厚量测设备有效
| 申请号： | 201720917264.2 | 申请日： | 2017-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN206919845U | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 赵敏敏;杨档;朱刚;魏少琦 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司11505 | 代理人： | 孟潭 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种膜厚量测设备，解决了现有技术中的设备测量结果与实际膜厚存在偏差从而导致的测量准确率较低的问题。本实用新型提供的膜厚量测设备包括移动装置、与移动装置连接的测厚模块，以及驱动装置；测厚模块通过驱动装置和/或移动装置移动；测厚模块包括非接触式测厚模块与接触式测厚模块，并通过接触式测厚模块测量的数据对非接触式测厚模块测量的数据实现补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膜厚量测 设备 | ||
【主权项】：
一种膜厚量测设备，其特征在于，包括移动装置、与所述移动装置连接的测厚模块，以及驱动装置；所述测厚模块通过所述驱动装置和/或所述移动装置移动；所述测厚模块包括非接触式测厚模块与接触式测厚模块，并通过接触式测厚模块测量的数据对非接触式测厚模块测量的数据实现补偿。
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