[实用新型]曝光机灯板散热装置有效

专利信息
申请号: 201720929730.9 申请日: 2017-07-28
公开(公告)号: CN207198549U 公开(公告)日: 2018-04-06
发明(设计)人: 李致齐 申请(专利权)人: 科毅科技股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 代理人: 黄挺
地址: 中国台湾桃园市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 实用新型提供一种曝光机灯板散热装置,其包含一循环管路、一致冷模块、一温控模块以及一热交换模块;循环管路填充有一工作流体;致冷模块连通循环管路且致冷模块将输入致冷模块的工作流体降温至低于环境空气的室温后输出;温控模块连通循环管路且热连接环境空气,致冷模块输出的工作流体输入温控模块与环境空气热交换后再输出;热交换模块热连接一发光二极管灯板,温控模块输出的工作流体输入热交换模块与发光二极管灯板热交换后再输出至循环管路中;由此可避免发光二极管灯板上产生凝结水。
搜索关键词: 曝光 机灯板 散热 装置
【主权项】:
一种曝光机灯板散热装置,其特征在于,包含:一循环管路,所述循环管路填充有一工作流体;一致冷模块,连通所述循环管路且所述致冷模块将输入所述致冷模块的所述工作流体降温至低于环境空气的室温后输出;一温控模块,连通所述循环管路且热连接环境空气,所述致冷模块输出的所述工作流体输入所述温控模块与环境空气热交换后再输出;以及一热交换模块,热连接一发光二极管灯板,所述温控模块输出的所述工作流体输入所述热交换模块与所述发光二极管灯板热交换后再输出至所述循环管路中。
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