[实用新型]一种高温氧化炉晶舟有效
申请号: | 201720931876.7 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN207134341U | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 王志良;裴雷洪;俞玮 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 上海申新律师事务所31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种高温氧化炉晶舟,包括彼此平行设置的上盖板、下盖板和带卡合件的片状环;还包括连接所述上盖板、下盖板和片状环,顶端设可拆卸连接部的连接柱;与所述连接柱通过可拆卸连接部连接的圆弧形手柄。本实用新型通过在晶舟上盖板设置圆弧状石英手柄,作为高温氧化炉晶舟维护时的搬运用力点,可极大地方便高温氧化炉晶舟的安装及拆除,并有效地保护晶舟环形片状石英不受到人力搬运的外力作用。本实用新型在将高温氧化炉晶舟放入炉内后,能将手柄拆卸掉,从而不影响晶舟的正常反应;本实用新型的拆卸方式简单方便,耗时短,实用性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 高温 氧化 炉晶舟 | ||
【主权项】:
一种高温氧化炉晶舟,其特征在于:包括彼此平行设置的上盖板(1)、下盖板(2)和带卡合件(31)的片状环(3);还包括连接所述上盖板(1)、下盖板(2)和片状环(3),顶端设可拆卸连接部(4)的连接柱(5);与所述连接柱(5)通过可拆卸连接部(4)连接的圆弧形手柄(6);所述可拆卸连接部(4)包括连接柱连接部(51)和手柄连接部(61)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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