[实用新型]一种新型真空泵系统

摘要

本实用新型公开了一种新型真空泵系统，属于真空泵系统设计及制造技术领域，其具体包括一级真空泵，二级真空泵，三级真空泵，所述一级真空泵、二级真空泵、三级真空泵依次串联连接，一级真空泵的冷却器的排气接口与二级真空泵的进气口相连，二级真空泵的冷却器的排气接口与三级真空泵的进气口相连，所述三级真空泵包括中间泵体、固定密封于中间泵体上的前端盖和后端盖，位于中间泵体内设置有两个相互共轭啮合的共轭转子，所述共轭转子包括一两叶转子和一三叶转子，所述两叶转子和三叶转子上设置有相互共轭啮合的凸型面和凹型面；该真空泵系统节能效率高，作业时能达到较高真空度及排气压力。

主权项

一种新型真空泵系统，包括一级真空泵(1)，二级真空泵(2)，三级真空泵(3)，所述一级真空泵(1)、二级真空泵(2)、三级真空泵(3)依次串联连接，所述一级真空泵(1)和二级真空泵(2)均为气冷罗茨泵，所述气冷罗茨泵包括罗茨泵泵体，还包括与罗茨泵泵体相连的冷却器(4)，所述冷却器(4)的两端侧壁上设置有与罗茨泵泵体两侧设置的循环气体接入口相连通的管道接口，所述管道接口与循环气体接入口通过气体循环管道(5)密封相连通，罗茨泵泵体的排气口与冷却器(4)的内部设置的冷却腔相连通，冷却器(4)的中部下侧设置有排气接口，位于冷却器(4)的两端分别设置有冷却水接入口(7)和冷却水接出口(8)，冷却器(4)的冷却腔内设置有若干冷却管(6)，每个冷却管(6)的两端分别与冷却水接入口(7)和冷却水接出口(8)并联连通；一级真空泵(1)的冷却器(4)的排气接口与二级真空泵(2)的进气口相连，二级真空泵(2)的冷却器(4)的排气接口与三级真空泵(3)的进气口相连，所述三级真空泵(3)包括中间泵体、固定密封于中间泵体上的前端盖和后端盖，位于中间泵体内设置有两个相互共轭啮合的共轭转子，所述共轭转子包括一两叶转子(9)和一三叶转子(10)，所述两叶转子(9)和三叶转子(10)上设置有相互共轭啮合的凸型面和凹型面，两叶转子(9)、三叶转子(10)上开设的凸型面的面数与凹型面的面数之等于两叶转子(9)和三叶转子(10)的节圆直径之比；所述三叶转子的外轮廓上周向均匀设置有三个凸型体(11)和三个内凹圆弧形凹型面。