[实用新型]具有气体回收机构的质谱检漏设备

摘要

本实用新型公开了一种具有气体回收机构的质谱检漏设备，所述质谱检漏设备包括真空腔体、气体回收机构、示踪气体源及控制装置。所述气体回收机构包括回收气体通断阀、回收缓冲罐、回收真空泵、低压罐及空压机，所述回收气体通断阀的输入端用于与所述待测箱体导通连接，所述回收气体通断阀的输出端与所述回收缓冲罐及所述回收真空泵导通连接，所述回收缓冲罐与所述回收真空泵的输入端导通连接，所述低压罐与所述回收真空泵的输出端及所述空压机的输入端导通连接，所述空压机的输出端与所述示踪气体源导通连接。本实用新型回收利用率高，回收速度快及效率高。

主权项

一种具有气体回收机构的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，包括：真空腔体、气体回收机构、示踪气体源及控制装置；所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；所述气体回收机构包括回收气体通断阀、回收真空泵、低压罐及空压机，所述回收气体通断阀的输入端用于与所述待测箱体导通连接，所述回收气体通断阀的输出端与所述回收真空泵导通连接，所述低压罐与所述回收真空泵的输出端及所述空压机的输入端导通连接，所述空压机的输出端与所述示踪气体源导通连接；所述示踪气体源用于与所述待测箱体导通连接，以向所述待测箱体提供示踪气体；所述控制装置与所述回收气体通断阀、回收真空泵及空压机电连接，用于控制所述回收气体通断阀、回收真空泵及空压机工作。