[实用新型]具有分级充气机构的质谱检漏设备有效
| 申请号： | 201720940587.3 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN207066690U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 龙超祥 | 申请（专利权）人： | 深圳市远望工业自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所44271 | 代理人： | 孙大勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种具有分级充气机构的质谱检漏设备，该具有分级充气机构的质谱检漏设备包括真空腔体、分级充气机构、示踪气体源及控制装置。分级充气机构包括第一充气支路及第二充气支路，第一充气支路包括第一示踪气体供应阀，第一示踪气体供应阀用于控制示踪气体的第一输出量。第二充气支路包括第二示踪气体供应阀，第二示踪气体供应阀的输入端与示踪气体源导通连接，第二示踪气体供应阀的输出端用于与待测箱体导通连接，第二示踪气体供应阀用于控制示踪气体的第二输出量，第二输出量大于第一输出量。本实用新型不仅可提高检测效率，而且较好避免误判，设备结构及工艺流程简单。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 分级 充气 机构 检漏 设备 | ||
【主权项】：
一种具有分级充气机构的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，包括：真空腔体、分级充气机构、示踪气体源及控制装置；所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；所述分级充气机构包括第一充气支路及第二充气支路，所述第一充气支路包括第一示踪气体供应阀，所述第一示踪气体供应阀的输入端与所述示踪气体源导通连接，所述第一示踪气体供应阀的输出端用于与所述待测箱体导通连接，所述第一示踪气体供应阀用于控制所述示踪气体的第一输出量；所述第二充气支路包括第二示踪气体供应阀，所述第二示踪气体供应阀的输入端与所述示踪气体源导通连接，所述第二示踪气体供应阀的输出端用于与所述待测箱体导通连接，所述第二示踪气体供应阀用于控制所述示踪气体的第二输出量，所述第二输出量大于所述第一输出量；所述控制装置与所述第一示踪气体供应阀及所述第二示踪气体供应阀电连接，以控制所述第一示踪气体供应阀及所述第二示踪气体供应阀开启与关闭。
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