[实用新型]一种上部电极天板及干法刻蚀设备有效
| 申请号： | 201720944530.0 | 申请日： | 2017-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN207038479U | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 赵吾阳;廖鹏宇;欧飞;彭军;宋亮 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种上部电极天板及干法刻蚀设备，用以提高干法刻蚀的均一性，提高刻蚀效率，满足OLED显示器量产的需求。本申请实施例提供的一种上部电极天板，用于干法刻蚀，所述上部电极天板具有多个拼接块。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 上部 电极 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
一种上部电极天板，用于干法刻蚀，其特征在于，所述上部电极天板具有多个拼接块。
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